半导体实验室气路的类型及操作注意一定要搞懂

　　一般可区分为大宗气体和特殊气体，其中大宗气体通常是以室外的大型气站或槽车供应为主；而特殊气体的部分由于其特性包含易燃性、腐蚀性及毒性等，如果发生泄露可能酿成灾祸，因此需要特别注意。

　　1、半导体实验室气路之可燃气体：

　　在实验室中，可以提供热源的气体一般是：天然气、煤气、液化气等，使用这种燃气主要就是用于试样熔融分解和一些玻璃器皿制造，也能用在煤气沙浴。它的使用场所一般是在试验台或者实验室通风柜中，但是在试验台上使用，要保证台面耐高温和设计原子吸收或其他排气装置，同样也具有耐高温的性能。以上可燃气体都具有高危险性，进行气体管路的设计和安装时要达到国家的要求标准、行业规范，非专业工程师不得随意改动和安装，以免气体泄漏，造成事故的发生。

　　2、半导体实验室气路之高纯气体：

　　常规咱们在实验室中接触到的高纯气体有：氧气、氮气、氩气、空气、氮气等，这些高纯气体等级有所不同，也意味着他们的纯度不同，可根据实验要求或者仪器要求来先择适合的纯度级别。它们均存放在高压气瓶当中，使用时要进行机械减压，才能达到实验所需的压力值。像乙炔、乙烷、氢气等都是易燃易爆气体，一旦泄露对人体和环境有危害，所以对气瓶的存放有严格要求，必须有独立的存放空间，不得和助燃气体混放、远离火源等。当然在使用任何气体时，都需要轻拿轻放，因为气瓶中压力很大，如果不小心磕碰，随时都会造成危险。投放使用之前检查好钢瓶的外观是否有皮损、严重锈迹、阀门是否有泄露，出气口是否有灰尘杂质，出口头垫片是否老化，必要时要做好清理和更换。