特种气体配送气源端设计

1.1、特种气体应按照物理化学特性分类存放，特种气体间的设计应符合下列规定：

1.1.1、特种气体间应设置排风系统，房间应运行在负压状态;

1.1.2、特种气体间用防火隔墙相互隔离;

1.1.3、易燃易爆特种气体间应进行防爆设计。

1.2、大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开敞式建筑，开敞式建筑应带屋顶遮盖，外墙面的遮挡部分不得大于三面。

1.3、硅烷站内大宗容器之间以及大宗容器与工艺气体盘之间的距离小于9m时，应设置2h以上的防火隔断。

1.4、硅烷系统气体设备不得建在地下室的室内。

1.5、剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或堵漏工具、排风装置和剧毒性特种气体在事故状态下的排风处理装置。

1.6、剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、防盗窗和防止人员入侵的技防设施。

2.1、不相容特种气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中;

2.2、液态气体钢瓶加热应配置温控系统，钢瓶表面温度应满足安全要求。

2.3、自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，并设置止回阀，不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源。

2.4、不相容特种气体排气管道不得接入同一排气系统;

2.5、自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体的排气必须经过尾气处理装置处理或排入安全位置。

2.6、气瓶柜闭门时应保持负压，柜内的负压和排风换气次数应保证泄漏的特种气体不得进入室内。

2.7、自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体气瓶柜和阀门箱应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器。

2.8、硅烷钢瓶侧连接管道应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮。

3.1、生产厂房洁净室内的易燃性和毒性特种气体管道应明敷，并采用焊接。穿过生产区墙壁与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采用密封措施。

3.2、易燃性、氧化性特种气体管道，应设置防静电接地。

3.3、特种气体管道必须进行管道标识。

4.1、应用多种特种气体的生产厂房应设特种气体管理系统，系统应实现特种气体的连续检测、指示、报警的功能，并应能够记录、存储和打印。

4.2、储存、输送、使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体泄漏探测装置：

4.2.1、自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处;

4.2.2、生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体阀门箱及排风管口处;

4.2.3、生产工艺设备的特种气体的废气处理设备排风口处;

4.2.4、惰性气体间可能产生窒息的区域;

4.2.5、自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体设备间;

4.2.6、其它可能发生泄漏的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体的环境。

4.3、自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体检测装置报警设定值应符合下列规定：

4.3.1、自燃性、可燃性气体的一级报警设定值应小于等于25%可燃性气体爆炸浓度下限值，二级报警设定值应小于等于50%可燃性气体爆炸浓度下限值;

4.3.2、剧毒性、毒性气体的一级报警设定值应小于等于50%空气中有害物质的最高允许浓度值-时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)，二级报警设定值应小于等于100%空气中有害物质的最高允许浓度值-时间加权平均容许浓度(TLV-TWA);

4.3.3、设在惰性气体间的氧气探测器，其一级报警设定值应大于等于19.5%氧气体积浓度(V/V)，二级报警设定值应大于等于18%氧气体积浓度(V/V)。

4.4、硅烷排风管道的气体泄漏探测器的报警设定值，应等于或小于50 ppm，并与硅烷气源的自动切断阀联锁。

4.5、特种气体探测系统确认气体泄漏时，应自动启动相应的事故排风装置，自动关闭相关部位的气体切断阀，并应能接受反馈信号;自动启动泄漏现场的声光报警装置，该声光报警应有别于火灾报警装置，并应启动应急广播系统。