特种气体管道氦检漏方法

1、顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

2、内向检漏法(喷氦法)应采用管道内部抽真空，外部喷氦气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

3、阀座检漏法应采用阀门游充氦气，下游抽真空的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

4、外向检漏法(吸枪法)应采用管路内部充氦气或氦氮混合气，外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

5、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1×10-10mbar·L/s。

6、特种气体系统氦检漏的泄漏率应符合下列规定:

6.1内向测漏法测定的泄漏率不得大于1×10-9mbar·L/s;

6.2阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1×10-6mbar·L/s;

6.3外向测漏法测定的泄漏率不得大于1×10-6mbar·L/s;

7、氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验合格后，然后按规定再进行氦检漏。

8、所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。

9、系统测试完毕，应充人高纯氮气或氩气，并应进行吹扫。